Исследование оптических методов формирования многоуровневого микрорельефа в тонких плёнках гибридного фотополимерного материала на основе тиол-силоксановых и акрилатных олигомеров

Исследование оптических методов формирования многоуровневого микрорельефа в тонких плёнках гибридного фотополимерного материала на основе тиол-силоксановых и акрилатных олигомеров Full article

Journal

Автометрия
ISSN: 0320-7102

Output data

Year: 2017, Volume: 53, Number: 5, Pages: 57-65 Pages count : 9 DOI: 10.15372/AUT20170506

Authors

Mironnikov Nikolay G. , Korolkov Viсtor P. , Derevyanko Dmitrii Igorevich , Shelkovnikov Vladimir Vladimirovich

Affiliations

1	Institute of Automation and Electrometry SB RAS
2	Novosibirsk State University
3	N.N. Vorozhtsov Novosibirsk Institute of Organic Chemistry of Siberian Branch of Russian Academy of Sciences
4	Novosibirsk State Technical University

Миронников Н.Г. , Корольков В.П. , Деревянко Д.И. , Шелковников В.В.
Исследование оптических методов формирования многоуровневого микрорельефа в тонких плёнках гибридного фотополимерного материала на основе тиол-силоксановых и акрилатных олигомеров
Автометрия. 2017. Т.53. №5. С.57-65. DOI: 10.15372/AUT20170506 РИНЦ

Mironnikov N.G. , Korolkov V.P. , Derevyanko D.I. , Shelkovnikov V.V.
Study of the Optical Methods of Formation of Multilevel Profile in the Thin Films of a Hybrid Photopolymer Material Based on Thiol-Siloxane and Acrylate Oligomers
Optoelectronics, Instrumentation and Data Processing. 2017. V.53. N5. P.466-473. DOI: 10.3103/S8756699017050065 WOS Scopus РИНЦ

Elibrary	30450278
OpenAlex	W4239565086