СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МИКРОННЫХ ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩИХ ДОРОЖЕК НА ПОДЛОЖКАХ АНОДИРОВАННОГО АЛЮМИНИЯ
Patents
Language: |
Русский |
Type: |
Invention |
Number |
RU 2739750 C1 |
Request number: |
2019141685 |
Request date: |
Dec 16, 2019 |
patent.field.start_date: |
Dec 16, 2019 |
Registration date: |
Dec 28, 2020 |
patent.field.request_publication_date: |
|
Изобретение относится к области электроники и предназначено для использования в производстве коммутационных плат и электронных, оптоэлектронных, оптических приборов на их основе при формировании электропроводящих дорожек на поверхности подложки анодированного алюминия. Способ получения электропроводящих дорожек с разрешением порядка 10 мкм включает формирование металлического медного рисунка через маску фоторезиста 3-(4-(4-акрилоилпиперазин-1-ил)-2,3,5,6-тетрафторфенил)-1-(2,4-бис(4-акрилоилпиперазин-1-ил)-2,5,6-трифторфенил)-проп-2-ен-1-он (ТАФХ) посредством прямого гальванического осаждения непосредственно на подложку предварительно электрохимически полированного алюминия с последующим анодированием без проведения магнетронного напыления. Изобретение позволяет более эффективно отводить тепло от выделяющих тепловую энергию компонентов за счет более высокой теплопроводности подложек алюминия и его оксида. 4 з.п. ф-лы, 9 ил.