Sciact
Toggle navigation
  • EN
  • RU

Sections:

  • Articles
  • Books
  • Conference attendances
  • Conference theses
  • Patents

Articles (8)

# Публикация
1 Derevyashkin S.V. , Soboleva E.A. , Shelkovnikov V.V. , Orlova N.A. , Malakhov I.A. , Berezhnaya V.N. , Savina E.D. , Tsentalovich Y.P.
Phototransformations of acrylamide derivatives of piperazine-substituted polyfluorinated chalcones
Journal of Photochemistry and Photobiology A: Chemistry. 2021. V.406. 112973 . DOI: 10.1016/j.jphotochem.2020.112973 WOS Scopus OpenAlex
2 Derevyashkin S.V. , Soboleva E.A. , Shelkovnikov V.V.
Obtaining Electrically Conductive Structures by Electrochemical Deposition of Copper onto Substrates of Anodized Aluminum Using Polyfluorochalcones as a Photoresist Layer
Russian Microelectronics. 2020. V.49. N3. P.173-183. DOI: 10.1134/S106373972002002X Scopus РИНЦ OpenAlex
3 Деревяшкин С.В. , Соболева Е.А. , Шелковников В.В.
Получение электропроводящих структур электрохимическим осаждением меди на подложках анодированного алюминия при использовании полифторхалконов в качестве фоторезистного слоя
Микроэлектроника. 2020. Т.49. №3. С.186-197. DOI: 10.31857/S0544126920020027 РИНЦ OpenAlex
4 Derevyashkin S.V. , Soboleva E.A. , Shelkovnikov V.V. , Spesivtsev E.V. , Korolkov V.P. , Malyshev A.I.
Triacrylamide polyfluorinated chalcone derivative as high resistant light-sensitive material for technology of diffractive optical elements
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering. 2019. V.11030. 110301D . DOI: 10.1117/12.2521139 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
5 Derevyashkin S.V. , Soboleva E.A. , Shelkovnikov V.V. , Spesivtsev E.V.
Holographic Recording in Micron Films Based on Polyfluorochalcones
High Energy Chemistry. 2019. V.53. N1. P.50-57. DOI: 10.1134/S0018143918060036 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
6 Derevyashkin S.V. , Soboleva E.A. , Shelkovnikov V.V. , Malyshev A.I. , Korolkov V.P.
Masking Properties of Structures Based on a Triacrylamide Derivative of Polyfluorochalcone at Wet and Reactive Ion Etching
Russian Microelectronics. 2019. V.48. N1. P.13-27. DOI: 10.1134/S1063739719010037 Scopus РИНЦ OpenAlex
7 Деревяшкин С.В. , Соболева Е.А. , Шелковников В.В. , Малышев А.И. , Корольков В.П.
Маскирующие свойства структур на основе триакриламидного производного полифторхалкона при жидкостном и реактивном ионном травлении
Микроэлектроника. 2019. Т.48. №1. С.16-30. DOI: 10.1134/S0544126919010034 РИНЦ OpenAlex
8 Деревяшкин С.В. , Соболева Е.А. , Шелковников В.В. , Спесивцев Е.В.
Голографическая запись в микронных пленках на основе полифторхалконов
Химия высоких энергий (HIGH ENERG CHEM+ ). 2018. Т.52. №6. С.507-514. DOI: 10.1134/S0023119318060037 РИНЦ OpenAlex

1   /  1   -  Total 8 records

Filter

Order

Field Direction

Columns

Reset