3-ЗАМЕЩЕННЫЕ 2-АРИЛАМИНО-1,4-НАФТОХИНОНЫ В КАЧЕСТВЕ ФОТОРЕЗИСТОВ ДЛЯ ВАКУУМНОГО ОСАЖДЕНИЯ
Патенты
| Язык: |
Русский |
| Тип: |
Патент на изобретение |
| Номер (11) |
RU 2027712 C1 |
| Номер заявки (21): |
4950733/04 |
| Дата подачи заявки (22): |
26 июн. 1991 г. |
| Дата начала отсчета срока действия патента (24): |
26 июн. 1991 г. |
| Дата публикации патента (44,45,46): |
27 янв. 1995 г. |
| Дата публикации заявки (43): |
|
| Авторы |
Михалина Т.В.
,
Фокин Е.П.
,
Рубашко С.В.
,
Гельфанд А.В.
,
Маневич М.Л.
|
| Организации |
| 1 |
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Новосибирский институт органической химии им. Н.Н. Ворожцова Сибирского отделения Российской академии наук (НИОХ СО РАН)
|
|
Использование: в качестве вакуумного фоторезиста. Сущность: продукт - 3-замещенные-2-ариламино-1,4-нафтохиноны ф-лы I, где X м-COOCH 3 п-COOCH3 п-COOC2H5 м-CF3 п-COCH3 Y = морфолино, пиперидино, пирролидиногруппа. Реагент 1: 2,3-дихлорнафтолинон. Реагент 2: NH2 C6H4X где значения x указаны выше. Условия реакции: в среде этанола при кипячении, с последующей обработкой пиперидином, морфолином или пирролидином соответственно. 2 табл., Ф-ла I