Sciact
Toggle navigation
  • EN
  • RU

Sections:

  • Articles
  • Books
  • Conference attendances
  • Conference theses
  • Patents

3-ЗАМЕЩЕННЫЕ 2-АРИЛАМИНО-1,4-НАФТОХИНОНЫ В КАЧЕСТВЕ ФОТОРЕЗИСТОВ ДЛЯ ВАКУУМНОГО ОСАЖДЕНИЯ Patents

Language: Русский
Type: Invention
Number RU 2027712 C1
Request number: 4950733/04
Request date: Jun 26, 1991
patent.field.start_date: Jun 26, 1991
Registration date: Jan 27, 1995
patent.field.request_publication_date:
Authors Михалина Т.В. , Фокин Е.П. , Рубашко С.В. , Гельфанд А.В. , Маневич М.Л.
Affiliations
1 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Новосибирский институт органической химии им. Н.Н. Ворожцова Сибирского отделения Российской академии наук (НИОХ СО РАН)
Abstract: Использование: в качестве вакуумного фоторезиста. Сущность: продукт - 3-замещенные-2-ариламино-1,4-нафтохиноны ф-лы I, где X м-COOCH 3 п-COOCH3 п-COOC2H5 м-CF3 п-COCH3 Y = морфолино, пиперидино, пирролидиногруппа. Реагент 1: 2,3-дихлорнафтолинон. Реагент 2: NH2 C6H4X где значения x указаны выше. Условия реакции: в среде этанола при кипячении, с последующей обработкой пиперидином, морфолином или пирролидином соответственно. 2 табл., Ф-ла I
Cite: Михалина Т.В. , Фокин Е.П. , Рубашко С.В. , Гельфанд А.В. , Маневич М.Л.
3-ЗАМЕЩЕННЫЕ 2-АРИЛАМИНО-1,4-НАФТОХИНОНЫ В КАЧЕСТВЕ ФОТОРЕЗИСТОВ ДЛЯ ВАКУУМНОГО ОСАЖДЕНИЯ
Number: RU2027712C1, действие с Jun 26, 1991, Request number 4950733/04 from Jun 26, 1991 РИНЦ
Identifiers:
Elibrary: 37998607
Name: 3-ЗАМЕЩЕННЫЕ 2-АРИЛАМИНО-1,4-НАФТОХИНОНЫ В КАЧЕСТВЕ ФОТОРЕЗИСТОВ ДЛЯ ВАКУУМНОГО ОСАЖДЕНИЯ