3-ЗАМЕЩЕННЫЕ 2-АРИЛАМИНО-1,4-НАФТОХИНОНЫ В КАЧЕСТВЕ ФОТОРЕЗИСТОВ ДЛЯ ВАКУУМНОГО ОСАЖДЕНИЯ
Patents
Language: |
Русский |
Type: |
Invention |
Number |
RU 2027712 C1 |
Request number: |
4950733/04 |
Request date: |
Jun 26, 1991 |
patent.field.start_date: |
Jun 26, 1991 |
Registration date: |
Jan 27, 1995 |
patent.field.request_publication_date: |
|
Authors |
Михалина Т.В.
,
Фокин Е.П.
,
Рубашко С.В.
,
Гельфанд А.В.
,
Маневич М.Л.
|
Affiliations |
1 |
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Новосибирский институт органической химии им. Н.Н. Ворожцова Сибирского отделения Российской академии наук (НИОХ СО РАН)
|
|
Использование: в качестве вакуумного фоторезиста. Сущность: продукт - 3-замещенные-2-ариламино-1,4-нафтохиноны ф-лы I, где X м-COOCH 3 п-COOCH3 п-COOC2H5 м-CF3 п-COCH3 Y = морфолино, пиперидино, пирролидиногруппа. Реагент 1: 2,3-дихлорнафтолинон. Реагент 2: NH2 C6H4X где значения x указаны выше. Условия реакции: в среде этанола при кипячении, с последующей обработкой пиперидином, морфолином или пирролидином соответственно. 2 табл., Ф-ла I