Научная деятельность

Статьи (8) Подробнее

1	Derevyashkin S.V. , Soboleva E.A. , Shelkovnikov V.V. , Orlova N.A. , Malakhov I.A. , Berezhnaya V.N. , Savina E.D. , Tsentalovich Y.P. Phototransformations of acrylamide derivatives of piperazine-substituted polyfluorinated chalcones Journal of Photochemistry and Photobiology A: Chemistry. 2021. V.406. 112973 . DOI: 10.1016/j.jphotochem.2020.112973 WOS Scopus OpenAlex
2	Derevyashkin S.V. , Soboleva E.A. , Shelkovnikov V.V. Obtaining Electrically Conductive Structures by Electrochemical Deposition of Copper onto Substrates of Anodized Aluminum Using Polyfluorochalcones as a Photoresist Layer Russian Microelectronics. 2020. V.49. N3. P.173-183. DOI: 10.1134/S106373972002002X Scopus РИНЦ OpenAlex
3	Деревяшкин С.В. , Соболева Е.А. , Шелковников В.В. Получение электропроводящих структур электрохимическим осаждением меди на подложках анодированного алюминия при использовании полифторхалконов в качестве фоторезистного слоя Микроэлектроника. 2020. Т.49. №3. С.186-197. DOI: 10.31857/S0544126920020027 РИНЦ OpenAlex
4	Derevyashkin S.V. , Soboleva E.A. , Shelkovnikov V.V. , Spesivtsev E.V. , Korolkov V.P. , Malyshev A.I. Triacrylamide polyfluorinated chalcone derivative as high resistant light-sensitive material for technology of diffractive optical elements Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering. 2019. V.11030. 110301D . DOI: 10.1117/12.2521139 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
5	Derevyashkin S.V. , Soboleva E.A. , Shelkovnikov V.V. , Spesivtsev E.V. Holographic Recording in Micron Films Based on Polyfluorochalcones High Energy Chemistry. 2019. V.53. N1. P.50-57. DOI: 10.1134/S0018143918060036 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
6	Derevyashkin S.V. , Soboleva E.A. , Shelkovnikov V.V. , Malyshev A.I. , Korolkov V.P. Masking Properties of Structures Based on a Triacrylamide Derivative of Polyfluorochalcone at Wet and Reactive Ion Etching Russian Microelectronics. 2019. V.48. N1. P.13-27. DOI: 10.1134/S1063739719010037 Scopus РИНЦ OpenAlex
7	Деревяшкин С.В. , Соболева Е.А. , Шелковников В.В. , Малышев А.И. , Корольков В.П. Маскирующие свойства структур на основе триакриламидного производного полифторхалкона при жидкостном и реактивном ионном травлении Микроэлектроника. 2019. Т.48. №1. С.16-30. DOI: 10.1134/S0544126919010034 РИНЦ OpenAlex
8	Деревяшкин С.В. , Соболева Е.А. , Шелковников В.В. , Спесивцев Е.В. Голографическая запись в микронных пленках на основе полифторхалконов Химия высоких энергий (HIGH ENERG CHEM+ ). 2018. Т.52. №6. С.507-514. DOI: 10.1134/S0023119318060037 РИНЦ OpenAlex

Патенты (1) Подробнее

1	Деревяшкин С.В. , Соболева Е.А. , Шелковников В.В. , Орлова Н.А. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МИКРОННЫХ ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩИХ ДОРОЖЕК НА ПОДЛОЖКАХ АНОДИРОВАННОГО АЛЮМИНИЯ Номер: RU2739750C1, действие с 16 дек. 2019 г., Заявка 2019141685 с 16 дек. 2019 г. РИНЦ

Внешние ссылки